I. Einleitung.- Literatur.- II. Grundlagen der Elektronenstrahl-Mikroanalyse.- 1. Definition und Klarstellung.- 2. Konzeptionen der Elektronenstrahl-Mikroanalyse.- 3. Mechanismus der Emission von R?ntgenstrahlung.- 4. Methoden der Anregung von R?ntgenstrahlen.- 5. Zerlegung der R?ntgenstrahlung.- 6. Messung der zerlegten R?ntgenstrahlung.- a) Detektoren.- b) Impulsh?henanalyse.- 7. Rolle der Probe (Antikathode).- a) Homogenit?tsfragen.- b) Probenoberfl?che.- ?) Ebenheit (Rauhigkeit) der Probenoberfl?che.- ?) Mikrotomproben, D?nnschicht- und Abdruckverfahren.- ?) Pr?parat ion nichtmetallischer Proben.- c) Proben aus Biologie und Medizin.- d) Elektrische Leitf?higkeit.- Literatur.- III. Ger?te und Untersuchungsm?glichkeiten der Elektronenstrahl-Mikroanalyse.- 1. Die Entwicklung der Elektronenstrahl-Mikroanalyse.- 2. Der Elektronenstrahl-Mikroanalysator.- a) Analysenwertgeber.- b) Me?einrichtungen.- c) Vergleich einiger Ger?te.- 3. Bedingungen zur Bestimmung der Elemente mit Ordnungszahlen unter 12.- 4. Mikrodiffraktion (Beugungserscheinungen).- a) Kosseilinien.- 5. Mikro-R?ntgenabsorptionsmessungen.- 6. Kathodenlumineszenz.- 7. R?ntgenmikroskopie.- Literatur.- IV. Me?- und Auswerteverfahren.- 1. Grundlagen.- a) Konstanz der Me?bedingungen.- ?) Konstanz des Strahlstroms.- ?) Methoden zur Messung des Strahldurchmessers.- ?) Einflu? der Defokussierung des Strahls.- b) Begriff und Bedeutung der Erfassungsgrenze.- ?) Messung des Z?hlerrauschens.- ?) Die Bestimmung der Erfassungsgrenzen durch Absolutmessung.- Probenbereitung.- ?) Zusammenfassender Vergleich von Erfassungsgrenzen.- c) Signal-Hintergrundverh?ltnisse und G?tezahlen.- 2. Analysendurchf?hrung.- a) Qualitative Analyse.- b) Quantitative Analyse.- ?) Punktanalyse.- ?) Linienanalyse.- ?) Fl?chenanalyse.- ?) Dreidimensionale Analyse.- 3. Quantitative Analyse und ihre Probleme.- a) Einf?hrung.- b) Rechenoperationen zur Konzentrationsermittlung.- ?) Rechenbeispiele.- Literatur.- V. Untersuchungsbeispiele.- 1. Qualitalc