Mikrosystemtechnik: Prozessschritte, Technologien, Anwendungen [Paperback]

Prozesstechnik.- Basisprozesse der Mikrosystemtechnik.- Sensor- und Aktoreffekte.- Monolithisch integrierte Mikrosysteme.- Hybride Systeme.Prof. Dr.-Ing. Ulrich Hilleringmann ist Leiter des Fachgebietes Sensorik an der Universit?t Paderborn und lehrt Halbleitertechnologie, Messtechnik, Sensorik und Prozessmesstechnik.Dieses Lehr- und Nachschlagebuch erl?utert die grundlegenden Prozessschritte der Mikrotechnologien f?r Elektronik, Mechanik und Optik. Darauf aufbauend folgen die Verkn?pfungen der Einzelprozesse zur Mikrosystemtechnik. Die m?glichen Schnittstellen Mechanik/Elektronik, Optik/Elektronik und Optik/Mechanik werden anhand konkreter mikrosystemtechnischer Bauelemente vorgestellt. Die jeweiligen Vorteile der Oberfl?chenmikromechanik und der Bulk-Mikromechanik werden anhand der erforderlichen Prozesstechnik zur Integration mikrosystemtechnischer Sensoren und Aktoren diskutiert und bez?glich ihrer Kompatibilit?t zur Mikroelektronik bewertet.Mikroelektronik, Mikromechanik, Mikrooptik, Sensoren und Aktuatoren - Bausteine der MikrosystemtechnikDieses Lehr- und Nachschlagebuch erl?utert die grundlegenden Prozessschritte der Mikrotechnologien f?r Elektronik, Mechanik und Optik. Darauf aufbauend folgen die Verkn?pfungen der Einzelprozesse zur Mikrosystemtechnik. Die m?glichen Schnittstellen Mechanik/Elektronik, Optik/Elektronik und Optik/Mechanik werden anhand konkreter mikrosystemtechnischer Bauelemente vorgestellt. Die jeweiligen Vorteile der Oberfl?chenmikromechanik und der Bulk-Mikromechanik werden anhand der erforderlichen Prozesstechnik zur Integration mikrosystemtechnischer Sensoren und Aktoren diskutiert und bez?glich ihrer Kompatibilit?t zur Mikroelektronik bewertet.