Prfverfahren zur Untersuchung der Partikelreinheit technischer Oberflchen [Paperback]

1 Einleitung.- 1.1 Problemstellung.- 1.2 Zielsetzung und Vorgehensweise.- 2 Stand der Technik.- 2.1 Begriffe und Definitionen.- 2.1.1 Partikel.- 2.1.2 Technische Oberfl?chen.- 2.1.3 Oberfl?chenreinheit.- 2.2 Ursachen f?r die Verunreinigung von Oberfl?chen.- 2.3 Oberfl?chen in unmittelbarer Produktumgebung.- 2.4 Verfahren zur Pr?fung der Partikelreinheit technischer Oberfl?chen.- 3 Analyse der Randbedingungen zur Pr?fung der Partikelreinheit technischer Oberfl?chen.- 3.1 Analyse der Beurteilungsmerkmale f?r Partikel.- 3.2 Eingesetzte Oberfl?chen.- 3.3 Beurteilungskriterien f?r die Oberfl?chenreinheit.- 3.4 Analyse der verf?gbaren Partikelme?technik.- 4 Ableitung von Entwicklungsschwerpunkten.- 4.1 Anforderungen an die Pr?feinrichtung.- 4.2 Anforderungen an eine zu entwickelnde Pr?fmethode.- 5 Konzeption und Realisierung einer Pr?feinrichtung zur Beurteilung der Partikelreinheit technischer Oberfl?chen.- 5.1 Konzeption einer Pr?feinrichtung.- 5.1.1 Bewertung der Partikelme?verfahren.- 5.1.2 Varianten von Pr?fkonzepten.- 5.2 Konzeption und Entwicklung von Funktionsgruppen.- 5.2.1 Beleuchtungs- und Detektionssystem.- 5.2.2 Bildverarbeitungs- und Auswertesystem.- 5.3 Realisierung.- 5.3.1 Eingesetzte und optimierte Funktionsgruppen.- 5.3.2 Funktionsablauf und Architektur.- 5.3.3 Optimierung der ger?tetechnisch bedingten Me?fehler.- 5.4 Minimal nachweisbare Partikelgr??en auf idealen Oberfl?chen.- 6 Entwicklung einer Pr?fmethode.- 6.1 Auswahl von Testoberfl?chen.- 6.2 Definierte Verunreinigung der Testoberfl?chen.- 6.3 Detektionsrandbedingungen f?r die Pr?fmethode.- 6.4 Erarbeitung der Pr?fmethode.- 6.4.1 Optimierung der Zahl von Kalibrierpunkten.- 6.4.2 Bestimmung der Orte der Probenahme.- 6.4.3 Anzahl der Me?punkte.- 6.4.3.1 Abh?ngigkeit der Partikelkonzentration.- 6.4.3.2 Abh?ngigkeit der Partikelgr??enverteilung.- 6.4.3.3 Abh?ngigkeit der Partikelh?ufigkeitsverteilung.- 6.4.4 Bestimmung der notwendigen Zahl von Wiederholungspr?fungen.- 6.4.5 Art und Umfang der Probenahl£<