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Prozetechnologie Fertigungsverfahren fr integrierte MOS-Schaltungen [Paperback]

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Category: Books (Technology & Engineering)
Author: Schumicki, G?nter, Seegebrecht, Peter
Author: Schumicki, G?nter, Seegebrecht, Peter
ISBN-10: 3540176705
ISBN-10: 3540176705
ISBN-13: 9783540176701
ISBN-13: 9783540176701
Publisher: Springer
Publisher: Springer
Binding: Paperback
Binding: Paperback
Pub Date: 01-Feb-1991
Pub Date: 01-Feb-1991
SKU: 3540176705-11-SPRI
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Item ID: 100865676
List Price: $84.99

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1 Einleitung.- 2 Reinstraumtechnologie.- 3 Materialtechnologie.- 4 Strukturerzeugung.- 5 Struktur?bertragung.- 6 Thermische Oxidation.- 7 CVD-Verfahren.- 8 Metallisierung.- 9 Diffusionsverfahren.- 10 Ionenimplantation.- 11 Reinigungsverfahren.- 12 Proze?integration.- 13 Design-Regeln.- 14 Proze?charakterisierung.- 15 Proze?kontrolle.- 16 Ausbeute und Zuverl?ssigkeit.Springer Book ArchivesDE