Silizium-Planartechnologie Grundprozesse, Physik und Bauelemente [Paperback]

Die Grundlagen der Mikroelektronik werden kompakt und in leicht verst?ndlicher Form vorgestellt. Der Leser erf?hrt, wie integrierte Schaltkreise hergestellt werden, wie sie funktionieren und welche Bauelemente sich realisieren lassen.Technologische Grundprozesse - Grundlagen der Halbleiterphysik f?r Siliziumbauelemente - Integrierte Widerst?nde und Kondensatoren - Der pn-?bergang - Der Metall-Halbleiter-Kontakt - Die Halbleiteroberfl?che anhand des MOS-Varaktors - Der reale MOS-Transistor - Herstellungsprozess von HalbleiterbauelementenVon der Physik zum ChipProf. Dr.-Ing. Dr. h.c. H.G. Wagemann, TU Berlin
Dr. Tim Sch?nauer, Infineon Technologies AGDie Grundlagen der Mikroelektronik werden kompakt und in leicht verst?ndlicher Form vorgestellt. Der Leser erf?hrt, wie integrierte Schalkreise hergestellt werden, wie sie funktionieren und wie ihre Grundelemente physikalisch beschrieben werden k?nnen. Aufgrund der gro?en Bedeutung von Simulationsprogrammen in der Silizium-Planartechnologie wird erg?nzend auf CAD-Werkzeuge von der Prozesssimulation (z. B. ISE-TCAD) bis hin zur Schaltungssimulation (z. B. SPICE) eingegangen.Von der Physik zum Chip - die Welt der Mikroelektronik pr?zise und verst?ndlich dargestelltDie Grundlagen der Mikroelektronik werden kompakt und in leicht verst?ndlicher Form vorgestellt. Der Leser erf?hrt, wie integrierte Schalkreise hergestellt werden, wie sie funktionieren und welche Bauelemente sich realisieren lassen.Springer Book Archives