Strmungstechnische Auslegung reinraumtauglicher Fertigungseinrichtungen [Paperback]

Abk?rzungen und Formelzeichen.- 1 Einleitung.- 1.1 Problemstellung.- 1.2 Zielsetzung und Vorgehensweise.- 2 Stand der Technik.- 2.1 Begriffe und Definitionen.- 2.1.1 Reinraumtechnologie.- 2.1.2 Reinheitsklassen.- 2.1.3 Reinraum.- 2.2 Ausgangssituation.- 2.2.1 Kontaminationsquellen im Reinraum.- 2.2.2 Str?mungsverh?ltnisse im Reinraum.- 2.2.3 Str?mungstechnische Untersuchungsmethoden.- 2.2.3.1 Quantitative Methoden.- 2.2.3.2 Qualitative Methoden der Str?mungssichtbarmachung.- 2.2.4 Fertigungsger?tetechnik.- 3 Entwicklungsschwerpunkte.- 3.1 Ableitung von Untersuchungsinhalten.- 3.2 Anforderungen an Untersuchungsmethoden.- 3.2.1 Quantitative Methoden.- 3.2.2 Qualitative Methoden der Str?mungssichtbarmachung.- 4 Auswahl von Untersuchungsmethoden und Entwicklung von Versuchseinrichtungen.- 4.1 Auswahl der Me?ger?te.- 4.1.1 Geschwindigkeitsanemometer.- 4.1.2 Auswahl der Partikelme?ger?te.- 4.2 Entwicklung einer kontaminationsfreien, transportablen Laser-Lichtschnitt-Anlage zur Str?mungssichtbarmachung.- 4.3 Tracer-Erzeugung und -Einbringung.- 4.4 Aufbau eines automatisierten Pr?fstandes zur Durchf?hrung von Geschwindigkeitsrastermessungen.- 5 Ermittlung des Einflusses unterschiedlicher Turbulenzintensit?ten der Reinraumstr?mung.- 5.1 Einflu?bereich von Funktionstr?gern auf die ungest?rte Reinraumstr?mung.- 5.2 Partikelausbreitung im Nachlauf von Funktionstr?gern.- 6 Untersuchung der Str?mung innerhalb und in der Umgebung von Fertigungseinrichtungen.- 6.1 Durchf?hrung der Untersuchungen.- 6.2 Str?mungsanalyse an Funktionstr?gern.- 6.2.1 Umstr?mung verschiedener Profilgeometrien unter Ber?cksichtigung der Profilorientierungen.- 6.2.2 Untersuchung von R?ckstr?meffekten.- 6.3 Str?mungsuntersuchungen an Baugruppen.- 6.3.1 Auswirkungen von Kapselungen auf die Str?mungsverh?ltnisse.- 6.3.2 Einflu? unterschiedlicher Neigungswinkel von Baugruppen zylindrischer Form auf die Partikelausbreitung in deren Nachlauf.- 6.3.3 Untersuchungen von Luftverdr?ngungseffekten.- 6.3.4 Einflu? vonló*