Theorie und Praxis der Vakuumtechnik [Paperback]

1 Einleitung.- 1.1 Die Entwicklung der Vakuumtechnik.- 1.2 Bedeutung und Aufgabe der heutigen Vakuumtechnik.- 1.3 Literatur.- 2 Gasgesetze, Grundlagen der kinetischen Gastheorie und Gasdynamik.- 2.1 Die Zustandsgr??en eines Gases.- 2.2 Mengengr??en, mengenbezogene Gr??en.- 2.3 Die Gesetze des idealen Gases.- 2.4 Grundlagen der kinetischen Theorie der Materie, insbesondere im gasf?rmigen Zustand.- 2.5 Transportvorg?nge.- 2.6 D?mpfe. Verdampfung und Kondensation.- 2.7 Gasdynamik.- 2.8 Literatur.- 3 Sorption und Desorption.- 3.1 Sorptionsph?nomene und deren Bedeutung; Begriffe und Terminologie.- 3.2 Adsorptions- und Desorptionskinetik.- 3.3 Pratische Hinweise zu Adsorption und Desorption.- 3.4 Absorption, Okklusion.- 3.5 Ausgasung.- 3.6 Literatur.- 4 Str?mungsvorg?nge.- 4.1 ?bersicht. Kennzeichnung der Str?mung durch Vakuumbereiche.- 4.2 Gasstrom, Saugleistung, Saugverm?gen.- 4.3 Rohrleitung als Str?mungswiderstand.- 4.4 Das effektive Saugverm?gen einer Vakuumpumpe.- 4.5 Str?mung im Grobvakuumbereich.- 4.6 Str?mung im Hoch- und Ultrahochvakuumbereich.- 4.7 Str?mung im Feinvakuum.- 4.8 Literatur.- 5 Verdr?ngerpumpen.- 5.1 ?bersicht.- 5.2 Fl?ssigkeitsring-Vakuumpumpen.- 5.3 ?lgedichtete Rotations-Vakuumpumpen.- 5.4 W?lzkolbenpumpen (Rootspumpen).- 5.5 Literatur.- 6 Treibmittelpumpen.- 6.1 Einleitung, ?bersicht.- 6.2 Fl?ssigkeitsstrahlpumpen.- 6.3 Dampf- und Gasstrahl-Vakuumpumpen.- 6.4 Diffusionspumpen.- 6.5 Diffusionspujnpen  Dampfstrahlpumpen.- 6.6 Literatur.- 7 Molekularpumpen.- 7.1 Einleitung.- 7.2 Molekularpumpen.- 7.3 Turbomolekularpumpen.- 7.4 Theorie der einstufigen Pumpe.- 7.5 Leistungsdaten von Turbomolekularpumpen.- 7.6 Betriebshinweise.- 7.7 Anwendungen.- 7.8 Literatur.- 8 Sorptionspumpen.- 8.1 Adsorptionspumpen.- 8.2 Gasaufzehrungdurch Getter.- 8.3 Ionenzerst?uberpumpen.- 8.4 Literatur.- 9 Kondensatoren.- 9.1 Kondensatoren als Vakuumpumpen.- 9.2 Bauarten von Kondensatoren.- 9.3 Kondensatoren in Kombination mit Vakuumpumpen.- 9.4 Berechnung von Kondensator-Pl#ˆ