Mikrosystementwurf Entwurf und Simulation von Mikrosystemen [Paperback]

Dieses Buch vereint die wesentlichen Aspekte zum erfolgreichen Entwurf von Mikrosystemen und gibt eine geschlossene Darstellung der Grundlagen, Entwurfsmethoden, Simulationsverfahren, Anwendungen und Technologien. Bei diesem Werk steht der Entwurf im Vordergrund, insbesondere die sich aus der Miniaturisierung ergebenden Konsequenzen im Entwurf von Mikrosystemen, da die physikalischen Eigenschaften bei einer Ma?stab?nderung nicht gleich bleiben. Besondere Beachtung finden die Zusammenh?nge und Analogien der elektrischen, mechanischen, thermischen, fluidischen und optischen Funktionselemente, da diese Komplexit?t leicht un?berschaubar wird.Dieses Buch vereint die wesentlichen Aspekte zum erfolgreichen Entwurf von Mikrosystemen und gibt eine geschlossene Darstellung der Grundlagen, Entwurfsmethoden, Simulationsverfahren, Anwendungen und Technologien. Bei diesem Werk steht der Entwurf im Vordergrund, insbesondere die sich aus der Miniaturisierung ergebenden Konsequenzen im Entwurf von Mikrosystemen, da die physikalischen Eigenschaften bei einer Ma?stab?nderung nicht gleich bleiben. Besondere Beachtung finden die Zusammenh?nge und Analogien der elektrischen, mechanischen, thermischen, fluidischen und optischen Funktionselemente, da diese Komplexit?t leicht un?berschaubar wird.1 Einf?hrung.- 1.1 Entwicklung der Mikroelektronik.- 1.2 Mikrosystemtechnik und Nanotechnologie.- 1.3 Chancen der Miniaturisierung.- 1.4 Gr??en?nderung, Skalierung.- 1.5 Skalierung, ?hnlichkeit und Kennzahlen.- 1.5.1 Die Ableitung der Kennzahlen der Thermik.- 1.5.2 Kennzahlen der Elektrodynamik.- 1.5.3 Anwendung der Kennzahlen.- 1.5.4 Skalierungsgesetze aus Kennzahlen.- 1.6 Lernen aus der Natur  Bionik.- 1.7 Einflu? der Abmessungen auf die Gestalt.- 1.8 Thesen zum Mikrosystementwurf.- 2 Technologien der Mikrosystemtechnik.- 2.1 Feinwerktechnik.- 2.2 Lithographie.- 2.3 Schichtabscheidung.- 2.3.1 Thermische Oxidation.- 2.3.2 CVD-Verfahren.- 2.3.3 PVD-Verfahren.- 2.3.4 Galvanische und stromlose Metalllc(