Zusammenfassung.- I. Einleitung.- II. Rutherford-R?ckstreuung.- 1. Theoretische Grundlagen.- 2. Erkl?rung der R?ckstreuspektren.- 3. Lineare N?herung f?r d?nne Targets.- 4. H?he des Energiespektrums.- III. Experimenteller Aufbau.- 1. Allgemeine Bedingungen, Strahl und Streukammer.- 2. Me?elektronik.- 3. Elektrostatischer Analysator (ESA).- a) Theoretische Grundlagen.- b) Praktische Ausf?hrung.- c) Absch?tzung der Z?hlrate im ESA.- d) Energieaufl?sung des ESA.- IV. Spektrensimulation per Rechenmaschine.- 1. Programmbeschreibung.- 2. Schematische Gliederung des Programms.- 3. Ber?cksichtigung der Detektoraufl?sung.- 4. Simulation inhomogener Targets.- V. Anwendungsbeispiele und Diskussion einiger Spektren.- 1. Dickenbestimmung d?nner Folien.- 2. Dickenbestimmung von Oberfl?chenverunreinigungen.- 3. Analyse und Tiefenprofile d?nner Schichten.- 4. Quantitative Analyse homogener Gemische.- VI. Schlu?betrachtung.- Bilderverzeichnis.Springer Book Archives