Mit dem rasch wachsenden Integrationsgrad mikroelektronischer Schaltungen steigt der m?gliche Schaden durch hochenergetische Strahlung, insbesondere im Einsatzbereich von Luft- und Raumfahrttechnik, aber auch bei Kernreaktoren, in der Materialforschung und in der medizinischen Diagnostik und Therapie. Das Buch liefert eine fundierte Einf?hrung, die von den physikalischen Grundlagen der Wechselwirkung von Strahlung mit Materie, ?ber die Erkl?rung von Sch?digungsmechanismen bis hin zur Beschreibung von Strahlungsempfindlichkeit reicht. Der starke Einflu? der verwendeten Technologie wird ebenso behandelt wie die M?glichkeit der Abschirmung und der Einflu? von Strukturverkleinerungen auf die Strahlensensibilt?t.Mit dem rasch wachsenden Integrationsgrad mikroelektronischer Schaltungen steigt der m?gliche Schaden durch hochenergetische Strahlung, insbesondere im Einsatzbereich von Luft- und Raumfahrttechnik, aber auch bei Kernreaktoren, in der Materialforschung und in der medizinischen Diagnostik und Therapie. Das Buch liefert eine fundierte Einf?hrung, die von den physikalischen Grundlagen der Wechselwirkung von Strahlung mit Materie, ?ber die Erkl?rung von Sch?digungsmechanismen bis hin zur Beschreibung von Strahlungsempfindlichkeit reicht. Der starke Einflu? der verwendeten Technologie wird ebenso behandelt wie die M?glichkeit der Abschirmung und der Einflu? von Strukturverkleinerungen auf die Strahlensensibilt?t.1 Einf?hrung.- 2 Wechselwirkung (WW) zwischen Strahlung und Materie.- 2.1 Vorbemerkungen.- 2.2 Photonen.- 2.2.1 Photoelektrischer Effekt.- 2.2.2 Compton-Effekt.- 2.2.3 Paar-Erzeugung.- 2.2.4 Totaler Massenschw?chungskoeffizient.- 2.2.5 Mischstoffe.- 2.3 Elektronen.- 2.3.1 Vorbemerkungen.- 2.3.2 Sto?gesetze.- 2.3.3 Coulomb-Wechselwirkung.- 2.3.4 Reichweite.- 2.4 Protonen und schwere Ionen.- 2.4.1 Vorbemerkungen.- 2.4.2 Bremsverm?gen.- 2.4.3 Reichweite.- 2.5 Neutronen.- 3 Sch?digungsmechanismen im Silizium und Siliziumdioxid.- 3.1 Vorbemerkungen.- 3.2 PermanentelCÈ